明鉴–全自动晶圆多维质量检测设备

产品性能及技术参数:

• 型号：明鉴-01、明鉴-02、明鉴-03、明鉴-04
• 检测晶圆材料​：铌酸锂等高透光性材料（型号明鉴-01、02），硅等低透光性材料（型号明鉴-03、04）
• 检测晶圆尺寸​：3英寸、4英寸（型号明鉴-01、03），6英寸、8英寸（型号明鉴-02、04）
• 检测指标​：厚度、TTV、BOW、WARP、TIR
• 轴向重复精度​：10nm（高透光材料型号），12nm（低透光材料型号）
• 最小横向采样间隔​：20μm
• 最大检测速度​：100KHz
• 米字检测时间​：＜20秒
• 常规检测时间​：＜2分钟（3、4英寸型号），＜4分钟（6、8英寸型号）
• Fullmap检测时间​：4-23分钟（具体取决于晶圆尺寸和型号，例如3英寸小尺寸型号4分钟，8英寸大尺寸型号23分钟）
• 厚度重复测量精度​：10nm
• ​TTV重复精度​：7nm
• Bow和Warp重复精度​：10nm
• 上下表面检测​：支持同时检测
• 表面形貌检测​：支持
• 晶圆厚度检测​：支持